О книге
Микросистемная техника - активно развивающееся направление, создающее функционально законченные нано- и микроразмерные устройства, характеристики которых кардинальным образом отличаются от характеристик устройств аналогичного назначения, созданных по традиционным технологиям.
Учебное пособие содержит сведения о физических принципах функционирования электромеханических систем и об основных технологиях их производства. Приведены примеры использования микроэлектромеханических систем в различной аппаратуре как бытового, так и специального назначения.
Для студентов, изучающих курс "Микросистемная техника".
Список литературы
- Вардан В., Виной К., Джозе К. ВЧ МЭМС и их применение: Пер. с англ. М.: Техносфера, 2004. 528 с. Сер. Мир электроники.
- Эггинс Б. Химические и биологические сенсоры. М.: Техносфера,2005. 335 с. Сер. Мир электроники.
- Elwenspoek M., Jansen H.V. Silicon Micromachining. Cambridge: University Press, 1999. 420 p.
- Keller Ch. Microfabricated High Aspect Ratio Silicon Flexures. Calif., USA: El Cerrito, 1998. 370 p.
- Leondes C.T. Mems/Nems: Handbook techniques and applications.2006. V. 1–5. Springer-Verlag.
- Highperformance surface-micromachined inchworm actuator / M.P. de Boer, D.L. Luck, W.R. Ashurst et al. // J. Microelectromech.Sерt. 2004. V. 13 (1). P. 63.
- MEMS mechanical sensors / S. Beeby, G. Ensell, M. Kraft, N. White.Norwood, MA, USA: Artech House, Inc., 2004. 281 p.
- Sniegowski J.J. Surface Micromachined Sensors and Actuators. Microintegrated Smart Material and Structures Conference(MISMSC) // Society for Experimental Mechanics. Williamsburg, VA.1995. Oct. 11–12. P. 100–110.
