О книге
Рассмотрены основные понятия вакуумной техники, а также характеристики вакуумных насосов, необходимые для проектирования и расчета вакуумных плазменных установок. Даны примеры определения параметров потоков газа и плазмы в вакууме. Приведены характеристики ряда промышленных и лабораторных установок, предназначенных для ионно-плазменной обработки изделий.
Для студентов старших курсов технических университетов и инженеров, занимающихся разработкой и конструированием вакуумно-плазменных систем.
Список литературы
- Вакуумная техника: справочник / К.Е. Демихов, Ю.В. Панфилов, Н.К. Никулин и др.; под общ. ред. К.Е. Демихова, Ю.В. Панфилова. 3-е изд., перераб. и доп. М.: Машиностроение, 2009. 590 с.
- Хоффман Д., Сингх Б., Томас Дж. Справочник по вакуумной технике и технологиям. М.: Техносфера, 2011. 736 с.
- Розанов Л.Н. Вакуумная техника: учебник для вузов. М.: Высшая школа, 1982. 207 с.
- Грошковский Я. Техника высокого вакуума: пер. с англ. М.: Мир, 1975. 622 с.
- Хэфер Р. Криовакуумная техника: пер. с англ. М.: Энергоатомиздат, 1983. 272 с.
- Саксаганский Г.Л. Электрофизические вакуумные насосы. М.: Энергоатомиздат, 1988. 280 с.
- Уэтсон Дж. Техника сверхвысокого вакуума: пер. с англ. М.: Мир, 1988. 366 с.
- Иванов В.И. Безмасляные вакуумные насосы. Л.: Машиностроение, Ленингр. отд-ние, 1980. 160 с.
- Марахтанов М.К. Ионные распылительные установки (Основы теории и расчета): учеб. пособие по курсу «Конструирование и расчет установок ионного распыления». М.: Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2002. 28 с.
- Plasma-Assisted Surface Coating: process, methods, systems and applications / G. Erkens, J. Vetter. J. Muller, T. Brinke, M. Fromme, A. Mohnfeld. Suddeutscher Verlag onpact GmbH, 81677 Munich, 2011. 71 p.
- Kashaev N. Neue Amsatze zur Verfahrensentwicklung beim Plasmaborieren und Plasmanitrieren. D 46 (Diss. Universitat Bremen) Shaker Verlag, Aachen, 2005. 197 p.
- Физический энциклопедический словарь / гл. ред. А.М. Прохоров. М.: Советская энциклопедия, 1983. 928 с.
- Машиностроение. Энциклопедический справочник. М.: Госиздат машиностроительной литературы, 1948. Т. 12. С. 538.
- Вакуумная техника: справочник / Е.С. Фролов, В.Е. Минайчев, А.Т. Александрова и др.; под общ. ред. Е.С. Фролова, В.Е. Минайчева. М.: Машиностроение, 1985. 359 с.
- Фримантл М. Химия в действии: в 2 ч. Ч. 2: пер. с англ. М.: Мир, 1998. 620 с.
- Газоразрядная камера ионизации ионного двигателя. Основы расчета: учеб. пособие / М.К. Марахтанов, А.А. Крюков; под ред. Г.К. Клименко. М.: Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2009. 72 с.
- Дэшман С. Научные основы вакуумной техники: пер. с англ. М.: Мир, 1964. 715 с.
- Абрамович Г.Н. Прикладная газовая динамика. Изд. 3-е, перераб. М.: Наука, 1969. 824 с.
- Сена Л.А. Единицы физических величин и их размерности. М.: Наука, 1969. 304 с.
