Технология микросистемной техники. Часть 1. Методы микрообработки

Авторы:

О. С. Нарайкин, В. В. Холевин, И. И. Данилов, В. А. Шалаев

LIGA MEMS MOEMS MST аддитивные материалы анодное соединение жидкостное травление кристаллографический индекс микрообработка микросистемная техникА плазменное осаждение подложки термоокисление фотолитография

Учебное пособие Электроника

Бумажная

Электронная

Формат: 60x84/16
Переплёт: мягкий
Год издания: 2010 г.
Объём: 40 стр.
Объём: 2.33 п.л.
Номер издания: 1
Вес: 66 г.
ISBN:

О книге

Рассмотрены современные методы микрообработки, применяемые в технологии изготовления микросистем: объемная микрообработка, поверхностная микрообработка, технология LIGA. Приведены сведения о материалах, применяемых в микросистемной технике, и о методах соединения слоев микросистем.

Для студентов 5-6-го курсов приборостроительных специальностей.

Отзывы

Оставить отзыв +