О книге
Рассмотрены современные методы микрообработки, применяемые в технологии изготовления микросистем: объемная микрообработка, поверхностная микрообработка, технология LIGA. Приведены сведения о материалах, применяемых в микросистемной технике, и о методах соединения слоев микросистем.
Для студентов 5-6-го курсов приборостроительных специальностей.
Список литературы
- Варадан В., Виной К., Джозе К. ВЧ МЭМС и их применение. М.: Техносфера, 2004. 528 с.
- Джексон Р.Г. Новейшие датчики. М.: Техносфера, 2007. 384 с.
- Киреев В.Ю., Столяров А.А. Технология микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы. М.: Техносфера, 2006. 192 с.
- Конструкторско-технологическое проектирование электронной аппаратуры: Учеб. для вузов. М.: Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2002. 528 с.
- Основы оптоэлектроники: Пер. с яп. / Я. Суэмацу, С. Катаока, К. Кисино и др. М.: Мир, 1988. 288 с.
- Пул Ч., Оуэнс Ф. Нанотехнологии. М.: Техносфера, 2004. 328 с.
- Распопов В.Я. Микромеханические приборы: Учеб. пособие. 2-е изд., перераб. и доп. Тула: Гриф и К, 2004. 476 с.
- Шарапов В.М., Мусиенко М.П., Шарапова Е.В. Пьезоэлектрические датчики. М.: Техносфера, 2006. 632 с.
- Maluf N., Williams K. An introduction to Microelectromechanical Systems Egeneering. 2nd еd. Boston London: Artech House, 2004. 283 р.
