О книге
Настоящее издание соответствует учебной программе курса "Специальные технологические методы в нанотехнологии".
Рассматриваются методы выращивания 2D-наноструктур (нанослоев), 1D-наноструктур (нанонитей) и OD-наноструктур (наночастиц) с помощью молекулярно-лучевой эпитаксии для их применения в наноприборах радиоэлектронных систем.
Для студентов 6-го курса приборостроительных специальностей.