О книге
Изложены технологические задачи, часто встречающиеся в практике изготовления микромеханических приборов - гироскопов и акселерометров. Даны необходимые для решения задач теоретические сведения.
Для студентов, обучающихся специальности "Приборы и системы ориентации, стабилизации и навигации".
Список литературы
- Акустико-эмиссионная диагностика конструкций / А.Н. Серьезнов, Л.Н. Степанова, В.В. Муравьев и др. М.: Радио и связь, 2000.
- Альтудов Ю.К., Гарицин А.Г. Лазерные микротехнологии и их применение в микроэлектронике. М.: Радио и связь, 2001.
- Бахратов А.Р. Использование сигналов акустической эмиссии для контроля и прогнозирования качества изделий в процессе алмазной доводки // Технология машиностроения. М., 1990. Сер. 13. Вып. 7. С. 48.
- Бахратов А.Р., Судьенков Ю.В., Чижов А.С. Исследование нарушенного слоя оптической поверхности фототепловым методом // Вестник машиностроения. 1997. № 6. С. 42.
- Бахратов А.Р. Сборка приборов ориентации, стабилизации и навигации с помощью клеев. М.: Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2007.
- Бахратов А.Р. Технологическое обеспечение качества и надежности малогабаритных акселерометров // Тр. ХХIХ академических чтений. М., 2005. С. 285.
- Броудай И., Морей Дж. Физические основы технологии: Пер. с англ. М.: Мир, 1985.
- Вендик О.Г., Горин Ю.Н., Попов В.Ф. Корпускулярно-фотонная технология. М.: Высш. шк., 1984.
- Вейко В.А., Котлецов Б.Н., Либенсон М.Н. Лазерная литография. Л.: Знание, 1971.
- Готра З.Ю. Технология микроэлектронных устройств: Справ. М.: Радио и связь, 1991.
- Жалнин В.П. Разработка процесса финишного гидродинамического полирования монокристаллических кремниевых пластин полупроводниковых приборов: Автореф. дис. … канд. техн. наук. М.: МВТУ им. Н.Э. Баумана. М., 1989.
- А. с. 1252141 МКИ В24В 37/04. Инструмент для гидродинамического полирования плоских деталей. Опубл. 1986. Бюл. № 31. 3 с
- Киреев В.Ю., Столяров А.В. Технология микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы. М.: Техносфера, 2006.
- Концевой Ю.А., Кудин В.Д. Методы контроля технологии производства полупроводниковых приборов. М.: Энергия, 1973.
- Минайчев В.Е. Нанесение пленок в вакууме. М.: Высш. шк., 1989
- Моро У. Микролитография: Пер. с англ. М.: Мир, 1990.
- Обработка полупроводниковых материалов / В.И. Карбань, П. Цой, В.В. Рогов и др.; Под ред. И.В. Новикова. Киев: Наук. думка, 1982.
- Парфенов О.Д. Технология микросхем. М.: Высш. шк., 1986.
- Плазменная технология в производстве СБИС: Пер. с англ. М.: Мир, 1987.
- Полтавцев Ю.Г., Князев А.С. Технология обработки поверхностей в микроэлектронике. Киев: Техника, 1990.
- Распопов В.Я. Микромеханические приборы: Учеб. пособие. Тула: Гриф и К, 2004.
- А. с. 1524336 МКИ В24В 37/04. Способ финишной алмазно-абразивной обработки. Опубл. 1989. Бюл № 35. 3 с.
- Технология СБИС. В 2 кн: Пер. с англ. М.: Мир, 1986. Кн. 1; Кн. 2.
- Фотолитография и оптика / Под ред. Я.А. Федотова и Г.Я. Поля. М.: Сов. радио, 1974.
- Чистые помещения: Пер. с япон. М.: Мир, 1990.
