Физические основы микро- и нанотехнологий

Авторы:

С. П. Бычков, В. П. Михайлов, Ю. В. Панфилов, Ю. Б. Цветков

Фурье-преобразования атомарные потоки высокочастотная плазма газоразрядная плазма зрачковые функции изображающие системы ионные потоки кривые Пашена микролитография микрорельеф микротехнологии молекулярные потоки нанотехнологии скалярная теория дифракции теплообмен излучением теплопроводность физика вакуума формирование микроизображений электронные потоки

Учебное пособие Нанотехнологии Электроника

Бумажная

Электронная

Формат: 60x84/16
Переплёт: мягкий
Год издания: 2009 г.
Объём: 176 стр.
Объём: 10.23 п.л.
Номер издания: 1
Вес: 227 г.
ISBN: 978-5-7038-3319-3

О книге

Даны краткие сведения из отдельных разделов физики и смежных наук, составляющих физические основы микро- и нанотехнологий. Рассмотрены основные законы, понятия и определения физических явлений, процессов и сред, являющихся основой этих технологий. Приведены методы преобразования фундаментальных физических законов в прикладные технологические зависимости, расчеты физических закономерностей, определяющих параметры процессов микро- и нанотехнологий.

Для студентов 3-го и 4-го курсов, обучающихся по специальности "Электронное машиностроение".

Отзывы

Оставить отзыв +