Лазерные технологии в электронном машиностроении

Авторы:

И. Е. Малов, И. Н. Шиганов

интегральные схемы кварцевые пьезоэлементы лазерное легирование лазерные технологии микромаркировка напыление тонких пленок осаждение из газовой фазы отжиг пленочные конденсаторы пленочные резисторы фотохимический катализ электронное машиностроение

Учебное пособие Лазерная техника и технологии

Бумажная

Электронная

Формат: 60x84/16
Переплёт: мягкий
Год издания: 2008 г.
Объём: 24 стр.
Объём: 1.40 п.л.
Номер издания: 1
Вес: 46 г.
ISBN:

О книге

Дано общее представление о процессах лазерной обработки полупроводников с целью рекристаллизации и отжига, описаны лазерные технологии модифицирования и изменения химического состава поверхностных слоев, напыления и осаждения тонких пленок, процессы лазерного легирования поверхности полупроводников. Также в пособии рассмотрены физико-химические и технологические процессы лазерной обработки пленок и деталей микроэлектроники, дана классификация методов лазерной обработки, рассмотрены методы подгонки параметров элементов микроэлектроники, размерной обработки и маркировки тонких пленок.

Для студентов 6-го курса, изучающих дисциплину "Лазерная микротехнология".

Отзывы

Оставить отзыв +