Лазерные технологии в электронном машиностроении

Дано общее представление о процессах лазерной обработки полупроводников с целью рекристаллизации и отжига, описаны лазерные технологии модифицирования и изменения химического состава поверхностных слоев, напыления и осаждения тонких пленок, процессы лазерного легирования поверхности полупроводников. Также в пособии рассмотрены физико-химические и технологические процессы лазерной обработки пленок и деталей микроэлектроники, дана классификация методов лазерной обработки, рассмотрены методы подгонки параметров элементов микроэлектроники, размерной обработки и маркировки тонких пленок.

Для студентов 6-го курса, изучающих дисциплину "Лазерная микротехнология".

Список литературы

1. Сафонов А.Н., Шиганов И.Н. Лазерная микротехнология. М.: Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 1999. 52 с.
2. Вейко В.П., Метев С.М. Лазерные технологии в микроэлектрони-ке. София: Изд-во Болгарской АН, 1991. 363 с.
3. Вейко В.П. Лазерная обработка пленочных элементов. Л.: Машино-строение, 1986. 152 с.
4. Дьюли У. Лазерная технология и анализ материалов: Пер. с англ. М.: Мир, 1986. 504 с.