Современные требования к кремниевым пластинам большого диаметра

Авторы:

Г. Р. Сагателян, Н. В. Макушина

индексы Миллера качество поверхности коробление кремниевые пластины отклонение от плоскостности пластины из сапфира прогиб рельеф поверхности

Учебное пособие Электроника

Бумажная

Электронная

Формат: 60x84/16
Переплёт: мягкий
Год издания: 2006 г.
Объём: 50 стр.
Объём: 2.91 п.л.
Номер издания: 1
Вес: 77 г.
ISBN: 5-7038-2926-7

О книге

Приведены современные требования к геометрической точности изготовления пластин-подложек интегральных микросхем. Рассмотрены кремниевые подложки диаметром 150 и 200 мм, а также сапфировые подложки диаметром 100 мм. Описаны новые технологические операции, применяемые при производстве полупроводниковых пластин.

Для студентов специальности "Проектирование и производство электронной аппаратуры" и "Проектирование и технология радиоэлектронных средств", изучающих курс "Микроэлектроника".

Отзывы

Оставить отзыв +