Проведение научных экспериментов в наноинженерии

Авторы:

А. А. Адамова, В. М. Башков, ещё 9

аморфные пленки зондовые методы керметы кремний кремниевые пластины микронеоднородности сопротивления микроструктуры микроэлектроника наноинженерия наноструктуры наноэлектроника резистивные материалы тонкие пленки электропроводность

Учебное пособие Нанотехнологии

Бумажная

Электронная

Формат: 60x90/16
Переплёт: мягкий
Год издания: 2015 г.
Объём: 132 стр.
Объём: 8.25 п.л.
Номер издания: 1
Вес: 177 г.
ISBN: 978-5-7038-4141-9

О книге

Учебное пособие содержит материалы о методах формирования и исследования микро- и наноструктур. Основное внимание уделено лабораторному практикуму по наукоемким технологиям микро- и наноэлектроники.

Для студентов, обучающихся по направлениям "Конструирование и технология электронных средств" (211000), "Наноинженерия" (152200), "Радиотехника" (210400).

Отзывы

Оставить отзыв +