О книге
Учебное пособие содержит материалы о методах формирования и исследования микро- и наноструктур. Основное внимание уделено лабораторному практикуму по наукоемким технологиям микро- и наноэлектроники.
Для студентов, обучающихся по направлениям "Конструирование и технология электронных средств" (211000), "Наноинженерия" (152200), "Радиотехника" (210400).
Список литературы
- Варадан В.К., Виной К.Д., Джозе К.А. ВЧ МЭМС и их применение. М.: Техносфера, 2004.
- Варламов П.И., Елсуков К.А., Макарчук В.В. Технологические процессы в наноинженерии: учеб. пособие. М.: Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2011.
- Власов А.И., Денисов А.А., Елсуков К.А. Бионаноинженерия: учеб. пособие. М.: Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2011.
- Власов А.И., Елсуков К.А., Косолапов И.А. Оптическая микроскопия: учеб. пособие. М.: Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2011.
- Власов А.И., Елсуков К.А., Косолапов И.А. Электронная микроскопия: учеб. пособие. М.: Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2011.
- Власов А.И., Елсуков К.А., Панфилов Ю.В. Методы микроскопии: учеб. пособие. М.: Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2011.
- Власов А.И., Назаров А.В. Основы моделирования микро- и наносистем: учеб. пособие. М.: Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2011.
- Герасименко Н.Н., Пархоменко Ю.Н. Кремний — материал наноэлектроники. М.: Техносфера, 2007.
- Денисов А.А., Кальнов В.А., Шахнов В.А. Проектирование наносенсоров: учеб. пособие. М.: Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2011.
- Денисов А.А., Кальнов В.А., Шахнов В.А. Проектирование оптической элементной базы наносистем: учеб. пособие. М.: Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2011.
- Джексон Р.Г. Новейшие датчики. М.: Техносфера, 2007.
- Захаржевский С.Б., Курносенко А.Е. Расчет изделий электроники на механические и тепловые воздействия в САПР Creo: учеб. пособие. М.: Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2013.
- Интегральные схемы на МДП-приборах: пер. с англ. / под ред. А.Н. Кармазинского. М.: Мир, 1984.
- Макарчук В.В., Родионов И.А. Проектирование электронной элементной базы наносистем: учеб. пособие. М.: Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2011.
- 121Миронов В.Л. Основы сканирующей зондовой микроскопии. М.: Техносфера, 2004.
- Назаров А.В. Многокомпонентное 3D-проектирование наносистем: учеб. пособие. М.: Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2011.
- Нано- и микросистемная техника. От исследований к разработкам / под ред. П.П. Мальцева. М.: Техносфера, 2005.
- Нанотехнологии в электронике / под ред. Ю.А. Чаплыгина. М.: Техносфера, 2005.
- НаноФаб 100. Сверхвысоковакуумный четырехкамерный нанотехнологический комплекс: руководство пользователя. М.: Группа компаний «НТ-МДТ», 2006.
- Неволин В.К. Зондовые нанотехнологии в электронике. М.: Техносфера, 2006.
- Онтология наноинженерии / А.И. Власов, Л.В. Журавлева, Н.В. Макушина и др. // Международный научно-исследовательский журнал. 2013. № 12-1 (19). С. 50–67
- Родионов И.А., Цветков Ю.Б., Макарчук В.В. Методы литографии в наноинженерии: учеб. пособие. М.: Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2011
- Татаренко Н.И., Кравченко В.С. Автоэмиссионные наноструктуры и приборы на их основе. М.: Физматлит, 2005.
- Чеканов А.Н. Расчеты и обеспечение надежности электронной аппаратуры: учеб. пособие. М.: Кнорус, 2012.
- Щука А.А. Электроника. СПб.: БВХ-Петербург, 2008.
