Приборно-технологическое моделирование в системе TCAD Sentaurus

Рассмотрена система TCAD Sentaurus приборно-технологического моделирования процессов формирования элементов интегральных микросхем, а также моделирования физических процессов, протекающих в этих элементах при различных условиях эксплуатации. Система представляет собой комплекс программ, развернутых на удаленном сервере под управлением операционных систем, подобных Linux.

Для студентов, обучающихся по специальности "Проектирование и технология производства электронной аппаратуры".

Список литературы

1. Ферри Д., Эйкерс Л., Гринич Э. Электроника ультрабольших интегральных схем: пер. с англ. М.: Мир, 1991. 327 с
2. МОП СБИС. Моделирование элементов и технологических процессов / под ред. П. Антонетти, Д. Антониадиса, Р. Даттона, У. Оулдхема; пер. с англ. М.: Радио и связь, 1988. 496 с.
3. Sentaurus Device User Guide. Version G-2012.06. Synopsys, USA, California, Mountain View, 2012, 1368 p.
4. Sentaurus Workbench User Guide. Version G-2012.06. Synop-sys, USA, California, Mountain View, 2012, 230 p.
5. Inspect User Guide. Version G-2012.06. Synopsys, USA, Cali-fornia, Mountain View, 2012, 180 p