Нанотехнологии и микромеханика. Часть 6. Базовые технологические процессы микросистемной техники

Авторы:

К. Г. Потловский, Е. А. Скороходов, С. А. Козубняк

нанотехнология микромеханика микросистемная техникА микроэлектромеханическая система монокристаллический кремний метод Чохральского бестигельная зонная плавка термическое окисление химическое осаждение физическое осаждение конденсация ионно-плазменный метод электрохимическое осаждение диффузия ионная имплантация ионное легирование молекулярно-лучевая эпитаксия газофазная эпитаксия фотолитография электронно-лучевая литография ионно-лучевая литография объемное травление жидкостное травление электрохимическое травление сухое травление LIGA-технология микростереолитография

Учебное пособие Метрология, стандартизация, сертификация Нанотехнологии

Бумажная

Электронная

Формат: 60x84/16
Переплёт: мягкий
Год издания: 2013 г.
Объём: 68 стр.
Объём: 3.95 п.л.
Номер издания: 1
Вес: 99 г.
ISBN: 978-5-7038-3729-0

О книге

Рассмотрены основные технологические процессы производства элементов микросистемной техники с точки зрения физических явлений. Обобщены результаты, полученные при выращивании монокристаллов, а также в процессах диффузии, имплантации, литографии и др.

Для студентов МГТУ им. Н. Э. Баумана, изучающих курс "Микросистемная техника".

Отзывы

Оставить отзыв +