О книге
Рассмотрены основные технологические процессы производства элементов микросистемной техники с точки зрения физических явлений. Обобщены результаты, полученные при выращивании монокристаллов, а также в процессах диффузии, имплантации, литографии и др.
Для студентов МГТУ им. Н. Э. Баумана, изучающих курс "Микросистемная техника".
Список литературы
- Аваев Н.А., Наумов Ю.Е., Фролкин В.Т. Основы микроэлектроники. М.: Радио и связь, 1991.
- Вардан В., Виной К., Джозе К. ВЧ МЭМС и их применение. М.: Техносфера, 2004.
- Готра З.Ю. Технология микроэлектронных устройств. М.: Радио и связь, 1991.
- Смирнов В.И. Физико-химические основы технологии электронных средств: Учеб. пособие. Ульяновск. Ульян. гос. ун-т, 2005.
- Тилл У., Лаксон Дж. Интегральные схемы: материалы, приборы, изготовление: Пер. с англ. М.: Мир, 1985.
- Ченг Л., Плогг К. Молекулярно-лучевая эпитаксия и гетероструктуры: Пер. с англ. М.: Мир, 1989.
- Jiang X.N., Sun C., Zhang X. Micro-stereolitography of Polymeric and Ceramic Microstructures // Elsevier Science S.A., 1999, pp. 149 — 156.
- Lou Helen H., Huang Yinlun. Electroplating. Encyclopedia of Chemical Processing. Taylor & Francis, 2006.
- Kanani N. Electroplating: Basic Principles, Processes and Practice // Elsevier Advanced Technology. Oxford, UK, 2004.
