О книге
Описана методика проведения лабораторных работ по дисциплине "Технологические процессы микроэлектроники", выполнение которых необходимо для приобретения студентами начальных навыков распознавания элементов топологии полупроводниковых интегральных микросхем и практической работы с оборудованием, используемым при их производстве.
Для студентов, обучающихся по специальности "Проектирование и технология производства электронной аппаратуры", а также других специальностей факультета "Информатика и системы управления", подготовка которых предусматривает изучение дисциплин, связанных с технологиями микроэлектроники.
