О книге
Описана методика проведения лабораторных работ по дисциплине "Технологические процессы микроэлектроники", выполнение которых необходимо для приобретения студентами начальных навыков распознавания элементов топологии полупроводниковых интегральных микросхем и практической работы с оборудованием, используемым при их производстве.
Для студентов, обучающихся по специальности "Проектирование и технология производства электронной аппаратуры", а также других специальностей факультета "Информатика и системы управления", подготовка которых предусматривает изучение дисциплин, связанных с технологиями микроэлектроники.
Список литературы
- Конструкторско-технологическое проектирование электронной аппаратуры / К.И. Билибин, А.И. Власов, Л.В. Журавлева [и др.]; под ред. В.А. Шахнова. М.: Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2005. 568 с
- Парфенов О.Д. Технология микросхем. М.: Высшая школа, 1986. 320 с.
