О книге
Рассмотрен технологический процесс изготовления многослойных печатных плат, позволяющий сформулировать требования к качеству выполнения операций, связанных с точным позиционированием инструмента. Приведены сравнительный анализ прецизионных приводов, их состав и ожидаемая точность позиционирования.
Для студентов, обучающихся по специальностям "Технология и оборудование микро- и наноэлектроники", "Процессы и оборудование микротехнологии".