Представлены материалы для практического изучения важнейших элементов вакуумного оборудования — средств откачки, измерения давления, а также процедуры измерения быстроты откачки технологического объема.
Для студентов, обучающихся по специальностям "Электроника и наноэлектроника", "Наноинженерия" в МГТУ им. Н.Э. Баумана.
Ваш браузер устарел и не обеспечивает полноценную и безопасную работу с сайтом.
Установите актуальную версию вашего браузера или одну из современных альтернатив.
