Читать онлайн

Процессы и оборудование микротехнологии
Модули 1 и 2

Автор:

Ю. Б. Цветков

КМОП-инвертор базирующие срезы и вырезы водородное восстановление диаметр диоксид кремния затвор зонная плавка инкрустирование исток карманы кремниевая мембрана кремниевая монокристаллическая пластина кристаллическая структура маркировка метод Чохральского механическая обработка слитков многослойная металлизация модели распределения примесей модель Дила — Гроува монокристалл мостовая схема неплоскостность пластин оборудование для оксидирования обработка фасок поликремний полировка пластин процесс изготовления пьезорезисторы пьезоэффект в кремнии скорость оксидирования стадии оксидирования сток термическое оксидирование технический кремний толщина пластин трихлорсилан удельное сопротивление фаска химико-механическая полировка шлифовка щелевая изоляции

Учебное пособие Электроника Нанотехнологии

Бумажная

Электронная

Формат: 70x100/16
Переплёт: мягкий
Год издания: 2018 г.
Объём: 124 стр.
Объём: 10.08 п.л.
Номер издания: 1
Вес: 200 г.
ISBN: 978-5-7038-4864-7

О книге

Дано описание общей последовательности процессов микротехнологии на примерах производства интегральных микросхем и кремниевого микродатчика давления. Рассмотрены основные этапы получения кремниевых монокристаллических пластин, ключевые операции микротехнологии — изготовление кремниевых пластин, оксидирование. Акцентировано внимание на взаимосвязи между свойствами материалов, структуры, устройством и электрическими характеристиками микроструктур. Рассмотрены физико-химические модели и методы анализа качества технологических процессов микротехнологии.

Для студентов МГТУ им. Н. Э. Баумана, обучающихся по направлениям «Электроника и наноэлектроника» и «Наноинженерия».

Список литературы

Технологии  полупроводников.  Часть 1.  URL: http://pcnews.ru/articles/tehnologii_poluprovodnikov_cast_1-607030.html2.
Quirk M., Serda J., IC Fabrication Process Overview. URL: http://ece424.cankaya.edu.tr/ uploads/les/ICmanufacturing_SMT_ProcessFlow_TUTORIAL.pdf3
Allen P.E. Deep Submicron CMOS technology. URL: http://www.aicdesign.org/SCNOTES/2010notes/Lect2UP030_(100324).pdf. 2010.
65nm CMOS Process Technology. URL: http://www.fujitsu.com/us/Images/ 65nmProcessTechnology.pdf5
Эффективная обработка информации (Mind mapping): Информация. URL: http://www.intuit.ru/studies/professional_skill_improvements/17419/courses/ 503/info6
Microsoft  powerpoint  2010:  Информация.  URL: http://www.intuit.ru/studies/courses/678/534/info7.
Prezi  —  бесплатная  альтернатива  Powerpoint  для  создания  презента-ций. URL: http:/te-st.ru/entries/prezi/
Prezi classic. URL: http:/prezi.com/dashboard
Prezi next. URL: http://prezi.com/dashboard/next/10
МЭМС-устройства. URL: http://www.npk-photonica.ru/content/products/ mems
MEMS:  микроэлектромеханические  системы.  Часть 1.  URL: http://www.3dnews.ru/60009812
MEMS:  микроэлектромеханические  системы.  Часть 2.  URL: http://www.3dnews.ru/editorial/mems-mikroelektromehanicheskie-sistemi-chast-213
MEMS:  микроэлектромеханические  системы.  Часть 3.  URL: http://www.3dnews.ru/editorial/MEMS-microelectromechanicalsystems-Part-314
Досовицкий Г.А. МикроЭлектроМеханические системы. URL: http://www.nanometer.ru/2010/09/30/mems_218368.html15.
What is MEMS Technology? URL: https://www.mems-exchange.org/MEMS/ what-is.html16
MicroElectroMechanical Systems  (MEMS). URL: http://www.sandia.gov/mstc/mems

Отзывы

Оставить отзыв +