О книге
Представлены материалы для практического изучения важнейших элементов вакуумного оборудования — средств откачки, измерения давления, а также процедуры измерения быстроты откачки технологического объема.
Для студентов, обучающихся по специальностям «Электроника и наноэлектроника», «Наноинженерия» в МГТУ им. Н. Э. Баумана.
Список литературы
- Розанов Л.Н. Вакуумная техника: учебник для высшей школы. 3-е изд. М.: Высш. шк., 2007. 391 с.
- Деулин Е.А. Методические указания к лабораторным работам по курсу «Основы вакуумной техники» / под ред. Л.И. Волчкевича. М.: Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 1989. 36 с.
- Пипко А.И., Плисковский В.Я., Пенчко Е.А. Конструирование и расчет вакуумных систем. 3-е изд., перераб. и доп. М.: Энергия, 1979. 504 с.
- Вакуумная техника: справочник / К.Е. Демихов, Ю.В. Панфилов, Н.К. Никулин [и др.] // под общ. ред. К.Е. Демихова, Ю.В. Панфилова. 3-е изд., перераб. и доп. М.: Машиностроение, 2009. 590 с.
