О книге
Рассмотрен процесс фотолитографии. Изложено описание процедур проведения экспериментов по определению разрешающей способности операций фотолитографии и жидкостного травления тонкопленочных медных структур. Представлена методика обработки полученных результатов травления и выявления на их основе бокового подтрава токопроводящих структур и неравномерности тонкопленочного покрытия по площади заготовки.
Для студентов, изучающих дисциплины «Технология и оборудование микро- и наноэлектроники», «Процессы и оборудование микротехнологии».
Список литературы
- Боброва Ю.С., Каменихин А.Т., Литвак Ю.Н. Оценка погрешности позиционирования прецизионного оборудования: методические указания к выполнению лабораторных работ по дисциплине «Основы проектирования и эксплуатации нанотехнологического оборудования». М.: Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2017. С. 5–10
- Макарчук В.В., Родионов И.А., Цветков Ю.Б. Методы литографии в наноинженерии: учебно-методический комплекс по тематическому направлению деятельности ННС «Наноинженерия»: учеб. пособие для вузов / ред. В.А. Шахнов. М.: Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2011. 175 с.
- Медведев А.М. Технология производства печатных плат. М.: Техносфера, 2005. 358 с.
- Моро У. Микролитография: в 2 ч. Ч. 1: пер. с англ. М.: Мир, 1990. 605 с
- Печатные платы: справочник: в 2 кн. Кн. 1 / под ред. К.Ф. Кумбза: пер. с англ. под ред. А.М. Медведева. М.: Техно-сфера, 2011. 1015 с.
- Физические основы микро- и нанотехнологий: учеб. пособие / С.П. Бычков, В.П. Михайлов, Ю.В. Панфилов, Ю.Б. Цвет-ков; под ред. Ю.Б. Цветкова. М.: Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2009. 176 с.
- Цветков Ю.Б. Управление топологической точностью фото-литографии: учеб. пособие по курсу «Элионные технологии». М.: Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2005. 176 с.
