Бумажная
Электронная
  • Формат: 70x100/16
  • Переплёт: твёрдый
  • Год издания: 2021 г.
  • Объём: 210 стр.
  • Объём: 17.06 п.л.
  • Номер издания: 1
  • Вес: 449 г.
  • ISBN: 978-5-7038-5529-4
  • Формат: PDF
  • Объём: 210 стр.
  • Год издания: 2021 г.
  • Номер издания: 1
  • ISBN: 978-5-7038-5529-4

О книге

Приведены методы анализа, выбора и расчета прецизионных механизмов микро и наноперемещений с учетом их функционального назначения и заданных параметров движения исполнительных механизмов оборудования для микро- и нанотехнологий. Рассмотрены методы вибрационной защиты прецизионного оборудования, принципы разработки динамических моделей и алгоритм процесса управления прецизионными механизмами перемещений для обеспечения требуемых параметров.

Определены основные параметры механизмов прецизионных перемещений.

Для студентов, обучающихся по направлениям подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника» 28.03.02 «Наноинженерия».
Ваш браузер устарел и не обеспечивает полноценную и безопасную работу с сайтом.
Установите актуальную версию вашего браузера или одну из современных альтернатив.