Механизмы прецизионных перемещений

Приведены методы анализа, выбора и расчета прецизионных механизмов микро и наноперемещений с учетом их функционального назначения и заданных параметров движения исполнительных механизмов оборудования для микро- и нанотехнологий. Рассмотрены методы вибрационной защиты прецизионного оборудования, принципы разработки динамических моделей и алгоритм процесса управления прецизионными механизмами перемещений для обеспечения требуемых параметров.

Определены основные параметры механизмов прецизионных перемещений.

Для студентов, обучающихся по направлениям подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника» 28.03.02 «Наноинженерия».

Список литературы

1. Вакуумная техника: справочник / К.Е. Демихов, Ю.В. Панфилов, Н.К. Никулин, В.П. Михайлов и др.; под общ. ред. К.Е. Демихова, Ю.В. Панфилова. 3-е изд., перераб. и доп. М.: Машиностроение, 2009. 590 с.
2. Вибрации в технике: справочник. В 6 т. / под ред. В.Н. Челомея. Т. 6. Защита от вибраций и ударов / под ред. К.В. Фролова. М.: Машиностроение, 1981.
3. Высоковакуумные технологические процессы в наноинженерии: учеб. пособие / Ю.В. Панфилов, К.М. Моисеев, В.П. Михайлов. М.: Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2011. 192 с.
4. Глубокий В.И. Конструирование и расчет станков. Расчет приводов подач и направляющих: методическое пособие к практическим занятиям для студентов машиностроительных специальностей / В.И. Глубокий, А.М. Якимович, А.С. Глубокий. Минск : БНТУ, 2013. 96 с.
5. ГОСТ 24346–80. Вибрация. Термины и определения. М.: Стандартинформ, 2010. 28 с.
6. ГОСТ 25980–83. Вибрация. Средства защиты. Номенклатура параметров. М.: Госуд. комитет СССР по стандартам, 1984. 7 с.
7. Емельянов А.В., Шилин А.Н. Шаговые двигатели: учеб. пособие / ВолгГТУ: Волгоград, 2005. 48 с.
8. Журнал «Нано- и микросистемная техника». URL: http://www.microsystems.ru/ literature.php/
9. Журнал «Наноинженерия». URL: http://www.portalnano.ru/read/massmedia/psmi/nanoengineering/
10. Журнал «Вакуумная техника и технология». URL: http://www.vacuum.ru/ magazine.html
11. Издательство «Springer». URL: https://link.springer.com/
12. Инженерные решения. База знаний. Пьезоэлемент. URL: http://engineering-solutions.ru/ultrasound/piezomaterials/ (дата обращения 23.11.2017).
13. Исследование параметров механизмов микро- и наноперемещений: методические указания к выполнению лабораторных работ по дисциплине «Прецизионные механизмы микро- и наноперемещений» / В П. Михайлов, А.М. Базиненков. М.: Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2014. 68 с.
14. Международный план по развитию полупроводниковой технологии (International Technology Roadmap for Semiconductors). URL: http://www.itrs2.net
15. Механика и физика точных вакуумных механизмов: В 2 т. / А.Т. Александрова, Н.С. Вагин, Н.В. Василенко и др.; под ред. Е.А. Деулина. М.: НПК «Интелвак»; Вакууммаш, 2002. Т. 1, 176 с. Т. 2, 152 с.
16. Миронов В.Л. Основы сканирующей зондовой микроскопии. Нижний Новгород: Институт физики микроструктур РАН, 2004. 110 с.
17. Нанотехнологические комплексы на базе платформы НАНОФАБ-10. URL: www.ntmdt.ru/platform/nanofab100 (дата обращения: 03.10.2010 г.).
18. Обсерватория W.M. Keck. URL: http://www.keckobservatory.org/ (дата об-ращения 23.11.2017).
19. Репозиторий Белорусского национального технического университета. URL: https://rep.bntu.by/ (дата обращения 23.11.2017).
20. Панич А.Е. Пьезокерамические актюаторы: учеб. пособие. Ростов-на-Дону: ЮФУ, 2008. 153 с.
21. Смирнов А.Б. Мехатроника и робототехника. Системы микроперемещений с пьезоэлектрическими приводами: учеб. пособие. СПб.: ГПУ, 2003. 160 с
22. Сычёв В.В. Адаптивные оптические системы в крупногабаритном телескопостроении. Старый Оскол: ООО «ТНТ», 2005. 464 с.
23. Физико-механические компоненты наносистем: учеб. пособие / Ю.В. Панфилов, В.М. Утенков, В.П. Михайлов. М.: Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2011. 184 с.
24. Южно-европейская обсерватория. Европейский сверхбольшой телескоп. URL: https://www.eso.org/public/russia/teles-instr/elt/ (дата обращения 23.11.2017).
25. Юревич Е.И. Теория автоматического управления. 3-е изд. СПб.: БХВ-Петербург, 2007. 560 с.
26. Active Vibration Isolation. Accurion. URL: http://www.accurion.com (дата обращения 15.05.2017)
27. Arnold W.H., Levison H. Focus: the critical parameter for submicron optical lithography: Part 2 // Proceeding of SPIE: Optical Microlithography VI. 1987. V. 0772. URL: http://proceedings.spiedigitallibrary.org/proceeding.aspx?articleid=1247439 (дата обращения: 10.03.2008 г.).
28. Gilbertson R.G., Busch J.D. A survey of micro-actuator technologies for future spacecraft missions. URL: http://citeseerx.ist.psu.edu/viewdoc/summary?doi=10.1.1.124.9636 (дата обращения 23.11.2017)
29. Mechanics and Physics of Precise Vacuum Mechanisms / E.A.Deulin, V.P.Mikhailov, Y.V.Panfilov, R.A.Nevshupa / Series Editor R. Moreau, Springer, 2010. 234 p.