О книге
Рассмотрены методы выбора средств откачки и разработки принципиальных вакуумных схем. Приведены методика расчета длительности этапов откачки, построения технологических диаграмм и графиков изменения давления в приборе или технологической камере, а также методы расчета сорбционных процессов при определении длительности сверхвысоковакуумной и высоковакуумной откачки.
Для самостоятельной работы и выполнения домашнего задания по дисциплине «Физика вакуума» студентами бакалавриата, обучающимися по направлениям подготовки «Электроника и наноэлектроника» и «Наноинженерия».
Список литературы
- Беляков В.П. Криогенная техника и технология. М.: Энергоиздат, 1982. 272 с.
- Вакуумная техника: справ.: под общ. ред. К.Е. Демихова, Ю.В. Панфилова. М.: Машиностроение, 2009.
- ГОСТ 2.796–95. ЕСКД. Обозначения условные графические в схемах. Элементы вакуумных систем.
- ГОСТ 2.797–81. ЕСКД. Правила выполнения вакуумных схем.
- Деулин Е.А. Методические указания к лабораторным работам по курсу «Основы вакуумной техники». М.: Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 1989
- Механические вакуумные насосы / Е.С. Фролов, И.В. Автономова, В.И. Васильев и др. М.: Машиностроение, 1989. 284 с.
- Пипко А.И., Плисковский В.Я., Пенчко Е.А. Конструирование и расчет вакуумных систем. М.: Энергия, 1979.
- Розанов Л.Н. Вакуумная техника: учебник для высшей школы. М.: Выс. шк., 2007.
