Физические процессы в вакууме и полупроводниковых структурах и их использование в электронных приборах

Рассмотрены физические процессы, происходящие в вакууме и полупроводниковых структурах при работе электровакуумных и полупроводниковых приборов. Описаны основные физические явления при вакуумировании корпусов приборов, формировании потоков заряженных частиц, управлении этими потоками с использованием электрических и магнитных полей, взаимодействии потоков с мишенями, а также процессы формирования и управления движением носителей заряда в полупроводниковых структурах. Представлено описание устройства, принципа работы и методов расчета основных параметров электронных приборов, в которых данные физические процессы используются. Приведены вопросы и задания для самоконтроля.

Для самостоятельной проработки дисциплины «Физические основы электронных приборов» студентами, обучающимися по направлению подготовки «Электроника и наноэлектроника», профиль «Электронное машиностроение».

Список литературы

1. Балекин В.И., Иванов А.Н. Основы расчета и конструирования электронных пушек: конспект лекций. Л.: ЛЭТИ, 1979.
2. Вакуумная техника: справочник / К.Е. Демихов, Ю.В. Панфилов, Н.К. Никулин и др.; под общ. ред. К.Е. Демихова, Ю.В. Панфилова. 3-е изд., перераб. и доп. М.: Машиностроение, 2009.
3. Вакуумная техника: справочник / под ред. Е.С. Фролова, В.Е. Минайчева. М.: Машиностроение, 1992.
4. Виноградов Ю.В. Основы электронной и полупроводниковой техники: учебник для вузов. М.: Энергия, 1972.
5. Горбацевич А.А. Полупроводниковые гетероструктуры и приборы на их основе. Нанотехнологии в электронике / под ред. Ю.А. Чаплыгина. М.: Техносфера, 2005.
6. Дулин В.Н. Электронные приборы: учебник для вузов. М.: Энергия, 1977.
7. Ефимов И.Е., Козырь И.Я., Горбунов Ю.И. Микроэлектроника. Физические и технологические основы, надежность: учеб. пособие для вузов. М.: Высш. шк., 1986.
8. Жигарев А.А. Электронная оптика и электронно-лучевые приборы: учебник для втузов. М.: Высш. шк., 1972.
9. Науменко В.Д. Современное состояние разработок магнетронов миллиметрового диапазона волн. Обзор//Известия вузов. Радиоэлектроника, 2017. Т. 60, №. 4.
10. Пипко А.И., Плисовский В.Я., Пенчко Е.А. Конструирование и расчет вакуумных систем. М.: Энергия, 1979.
11. Розанов Л.Н. Вакуумная техника: учебник для вузов. 3-е изд., перераб. и доп. М.: Высш. шк., 2007.
12. Руководство по эксплуатации анализатора остаточных газов Extorr серии XT. www.msht.ru
13. Рябов В.Т. Комплексная разработка механических, электронных и программных компонентов технологического оборудования. Ч. 1. Функции, структура и элементная база систем автоматического управления: учебное пособие по курсу «Системы автоматического управления технологическим оборудованием». М.: Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2012.
14. Физика полупроводниковых приборов микроэлектроники: учеб. пособие / В.И. Старосельский. М.: Изд-во Юрайт, 2011.
15. Электронные, квантовые приборы и микроэлектроника: учеб. пособие для вузов / под ред. проф. Н.Д. Федорова. М.: Радио и связь, 1998.
16. Старосельский В.И. Физика полупроводниковых приборов микроэлектроники: учеб. пособие. М.: Юрайт, 2011.