О книге
В данных методических указаниях приведены лабораторные работы по изучению характеристик тонкопленочных ГИС и толстопленочных ИС, топологии тестового модуля и методики снятия вольт-фарадных характеристик МДП-структур.
Указания рекомендуются студентам, обучающимся по направлению подготовки 211 000, для выполнения лабораторных работ по курсу «Технологические процессы микроэлектроники» и «Технология интегральных микросхем».
