О книге
В данных методических указаниях приведены лабораторные работы по изучению характеристик тонкопленочных ГИС и толстопленочных ИС, топологии тестового модуля и методики снятия вольт-фарадных характеристик МДП-структур.
Указания рекомендуются студентам, обучающимся по направлению подготовки 211 000, для выполнения лабораторных работ по курсу «Технологические процессы микроэлектроники» и «Технология интегральных микросхем».
Список литературы
- Андреев В. В., Столяров А. А. Физические основы наноинженерии / Под ред. В. А. Шахнова. — М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2011. — 224 с.
- Конструкторско-технологическое проектирование электронной аппаратуры : учебник для вузов / Под общ. ред. В. А. Шахнова. — 2-е изд., перераб. и доп. — М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2005. — 568 с.: ил.
- Коледов Л. А. Технология и конструкции микросхем, микропроцессоров и микросборок : учебное пособие для вузов. — М. : Лань, 2008. — 400 с.: ил.
- Парфенов О. Д. Технология микросхем : учебное пособие для вузов. — М. : Радио и связь, 1986. — 176 с.: ил.
- Королев М. А., Крупкина Т. Ю., Ревелева М. А. Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. В 2-х частях. Часть 1. Технологические процессы изготовления кремниевых интегральных схем и их моделирование. — М. : Бином. Лаборатория знаний, 2007. — 400 с.: ил.
- Нанотехнологии в электронике / Под ред. Ю. А. Чаплыгина. — М. : Техносфера, 2005. — 448 с.: ил.
- Рабаи Ж. М., Чандракасан А., Николич Б. Цифровые интегральные схемы. Методология проектирования. — 2-е изд. — М. : Вильямс ИД, 2007. — 912 с.: ил.
- Пирс К. [и др.]. Технология СБИС. В 2-х кн. Кн. 1. Пер. с англ. / Под ред. С. Зи. — М. : Мир, 1986. — 404 с.: ил.
- Могэб К. [и др.]. Технология СБИС. В 2-х кн., Кн. 2. Пер. с англ. / Под ред. С. Зи. — М. : Мир, 1986. — 453 с.: ил.
- Ефимов И. Е., Козырь И. Я., Горбунов Ю. И. Микроэлектроника : учебное пособие для вузов. — М. : Высшая школа, 1986. — 464 с.: ил.
- Варламов П. И., Елсуков К. А., Макарчук В. В. Технологические процессы в наноинженерии / Под ред. В. А. Шахнова. — М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2011. — 176 с.
