Сборник научных трудов XX Международной научно-технической конференции «Высокие технологии в промышленности России», XХVII Международного симпозиума «Тонкие пленки в электронике» и VII Международной научно-технической конференции «Наноинженерия»

В сборник вошли статьи ведущих российских и зарубежных ученых, молодых специалистов, аспирантов и студентов в таких областях, как материалы и устройства функциональной электроники и микрофотоники, технология и оборудование для нанесения тонких пленок в вакууме, инженерные нанотехнологии в машиностроении и приборостроении.

Конференции посвящены 185-летию Московского государственного технического университета имени Н.Э. Баумана.

Список литературы

1. Ɉ.Ⱦ.Ⱥɦɟɥɢɧɚ, ɋ.Ȼ.ɇɟɫɬɟɪɨɜ. ɂɫɫɥɟɞɨɜɚɧɢɟ ɝɪɚɧɭɥɨɦɟɬɪɢɱɟɫɤɨɝɨ ɢ ɮɚɡɨɜɨɝɨ ɫɨɫɬɚɜɚ ɩɨɪɨɲɤɚ ɲɢɯɬɵ ɞɥɹ ɢɡɝɨɬɨɜɥɟɧɢɹ ɝɪɭɩɩɵ ɤɟɪɚɦɢɱɟɫɤɢɯ ɦɚ-ɬɟɪɢɚɥɨɜ ɦɚɪɨɤ ȼɄ100-1 ɢ ȼɄ100-2. Ɇɚɬɟɪɢɚɥɵ IX Ɇɟɠɞɭɧɚɪɨɞɧɨɣ ɧɚɭɱɧɨ-ɬɟɯɧɢɱɟɫɤɨɣ ɤɨɧɮɟɪɟɧ-ɰɢɢ. ɉɨɞ ɪɟɞɚɤɰɢɟɣ ɞɨɤɬɨɪɚ ɬɟɯɧɢɱɟɫɤɢɯ ɧɚɭɤ, ɩɪɨɮɟɫɫɨɪɚ ɇɟɫɬɟɪɨɜɚ ɋ.Ȼ. Ɇ.: ɇɈȼȿɅɅȺ. 2014. ɫ.93-98