О книге
Рассмотрены физико-химические основы и проанализирован процесс термовакуумной обработки электровакуумных приборов. Приведено описание специфических особенностей магнетрона как электровакуумного прибора для генерирования высокочастотного излучения. Перечислены особые свойства
используемых материалов. Даны характеристики и указано своеобразие операций технологического процесса термовакуумной обработки магнетронов.
Для студентов, обучающихся по направлениям подготовки «Наноинженерия» и «Электроника и наноэлектроника» в рамках дисциплины «Термовакуумные процессы и оборудование». Материал пособия можно использовать студентам и аспирантам соответствующего профиля при выполнении научно-исследовательских работ.
Список литературы
- Архипов А.В., Мишин М.В., Филимонов А.В., Андронов А.Н. Методы получения вакуума и криогенных температур: учеб. пособие. СПб.: Изд-во Политехн. ун-та, 2013. 214 с
- Базалевская С.С. Влияние термомеханических воздействий на структуру и фазовый состав пьезоэлектрических кристаллов семейства лангасита: автореф. дис. … канд. техн. наук. М., 2019.
- Байбурин В.Б., Волков Ю.П., Ильин Е.М. и др. Туннельная спектроскопия палладий-бариевых эмиттеров // Письма в ЖТФ. 2002. Т. 28, вып. 23. С. 19–22.
- Баранников В.А., Николаева Е.А., Касаткина С.Н. Экспериментальное изучение термодинамики нагруженной меди // Физическая мезомеханика. 2005. Т. 8, вып. 2. С. 107–112.
- Браун М., Доллимор Д., Галвей А. Реакции твердых тел: пер. с англ. М.: Мир, 1983. 360.
- Булдаков Е.И. Разработка магнетрона милиметрового диапазона с улучшенными эксплуатационными характеристиками: дис. … канд. техн. наук по специальности 05.27.02. Саратов, 2012. 212 с.
- Вакуумная техника: справочник. 3-е изд., перераб. и доп. / К.Е. Демихов, Ю.В. Панфилов, Н.К. Никулин и др.; под общ. ред. К.Е. Демихова, Ю.В. Панфилова. М.: Машиностроение, 2009. 589 с.
- Васильев М.А., Волошко С.М., Яценко Л.Ф. Механохимическое окисление поверхности металлических сплавов под действием интенсивной пластической деформации // Успехи физики металлов. 2014. Т. 15, № 3. С. 79–100.
- Веттегрень В.И., Мамалимов Р.И., Соболев Г.А. Размытый фазовый переход в поверхностном слое кварца при изменении температуры // Физика твердого тела. 2013. Т. 55, вып. 10. С. 1987–1992.
- Голдин Б.А., Рябков Ю.И., Секушин Н.А., Назарова Л.Ю. Проблемы радиопрозрачности и радиопоглощения керамических и композиционных материалов со структурой корунда (сравнительный анализ) // Изв. Коми научного центра УРО РАН. Вып. 3. Сыктывкар, 2010. С. 66–68.
- Голубев О.Л., Ивченко В.А. Регулирование количества локальных эмитирующих нановыступов на поверхности полевого эмиттера // Письма в ЖЭТФ. 2012. Т. 38, вып. 20. С. 63–68.
- Голубев О.Л., Шредник В.Н. Термополевые формоизменения сплава вольфрам–гафний // Журнал технической физики. 2003. Т. 73, вып. 6. С. 118–122.
