О книге
Учебное пособие состоит из четырех разделов, посвященных лазерной обработке материалов, используемых в микроэлектронике. Рассмотрены такие часто используемые процессы, как обработка полупроводников и отжиг имплантированных слоев в полупроводниках, перекристаллизация и стабилизация параметров тонких слоев в полупроводниках, модифицирование и изменение химического состава поверхностных слоев путем лазерного напыления тонких пленок, осаждение пленок из газовой фазы и растворов.
Большое внимание уделено вопросам обработки тонких пленок в виде лазерной подгонки пленочных резисторов, конденсаторов; вопросам лазерной литографии, записи информации.
Для студентов старших курсов, обучающихся по специальности "Машины и технология высокоэффективных процессов обработки материалов".
Список литературы
- Сафонов А.Н., Шиганов И.Н. Лазерная микротехнология. М.: Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 1999. 52 с.
- Взаимодействие лазерного излучения с веществом / В.П. Вейко, М.Н. Либенсон, Г.Г. Червяков, Е.Б. Яковлев. М.: Физматлит, 2008.312 с.
- Вейко В.П., Метев С.М. Лазерные технологии в микроэлектронике. София: Изд-во Болгарской АН, 1991. 363 с.
- Вейко В.П. Лазерная обработка пленочных элементов. Л.: Машиностроение, 1986. 152 с.
- Дьюли У. Лазерная технология и анализ материалов: Пер. с англ. М.: Мир, 1986. 504 с.
