Физические основы микро- и наноэлектроники

Библиотека «Приборостроение». Том 3

Учебное пособие по дисциплине «Физические основы микро- и наноэлектроники» содержит рекомендации по организации и проведению лекций, практических занятий, семинаров, лабораторных работ и деловых игр, перечень учебных видео- и аудиоматериалов, слайдов, типовых плакатов и другие дидактические материалы для работы профессорско-преподавательского состава и студентов по данной дисциплине.

Соответствует стандартам WorldSkills по компетенции «Производство и инженерные технологии», а также минимуму содержания и уровню подготовки студентов по укрупненным группам специальностей и направлений «Информатика и вычислительная техника» и «Приборостроение». Может представлять интерес для специалистов, занимающихся вопросами приборостроения и созданием цифро-
вых систем.

Материалы находятся в свободном доступе — их можно читать, загружать, копировать, распространять, печатать и ссылаться на их полные или частичные тексты с указанием авторства без каких-либо ограничений. Тип лицензии CC: Attribution 4.0 International (CC BY 4.0).

Список литературы

1. Андреев В.В., Столяров А.А. Физические основы наноинженерии: учеб. пособие / под ред. В.А. Шахнова. М.: МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2011.
2. Барыбин А.А. Электроника и микроэлектроника: физико-технологические основы. М.: Физматлит, 2006.
3. Варламов П.И., Елсуков К.А., Макарчук В.В. Технологические процессы в наноинженерии. М.: Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2011.
4. Власов А.И., Денисов А.А., Елсуков К.А. Бионаноинженерия: учеб. пособие. М.: Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2011.
5. Власов А.И., Елсуков К.А., Косолапов И.А. Оптическая микроскопия. М.: Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2011.
6. Власов А.И., Елсуков К.А., Панфилов Ю.В. Методы микроскопии: учеб. пособие. М.: Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2011
7. Власов А.И., Елсуков К.А., Косолапов И.А. Электронная микроскопия. М.: Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2011.
8. Власов А.И., Назаров А.В. Основы моделирования микро- и наносистем: учеб. пособие. М.: Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2011.
9. Гуртов В.А. Твердотельная электроника: учеб. пособие для вузов. 3-е изд., доп. М.: Техносфера, 2008.
10. Епифанов Г.И., Мома Ю.А. Твердотельная электроника. М.: Высшая шко-ла, 1986.
11. Ефимов И.Е., Козырь И.Я., Горбунов Ю.И. Микроэлектроника. М.: Высшая школа, 1986.
12. Забродин Ю.С. Промышленная электроника. М.: Альянс, 2014.
13. Зи С. Физика полупроводниковых приборов. Т. 1. М.: Мир, 1984.
14. Игнатов А.Н., Фадеев Н.Е., Савиных В.Л. Классическая электроника и наноэлектроника. М.: Флинта, 2009.
15. Кальнов В.А., Шахнов В.А., Денисов А.А. Проектирование наносенсоров. М.: Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2011
16. Киселев В.Ф., Козлов С.Н., Зотеев А.В. Основы физики поверхности твердого тела. М.: МГУ, 1999.
17. Кузовкин В.А. Электроника: учебник. М.: Логос, 2011
18. Макарчук В.В., Родионов И.А., Цветков Ю.Б. Методы литографии в наноинженерии. М.: Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2011.
19. Орешкин П.Т. Физика полупроводников и диэлектриков. М.: Высшая школа, 1977.
20. Пасынков В.В., Чиркин Л.К. Полупроводниковые приборы. СПб.: Лань, 2001.
21. Петров К.С. Радиоматериалы, радиокомпоненты и электроника. СПб.: Питер, 2003.
22. Протасов Ю.С., Чувашев С.Н. Твердотельная электроника: учеб. пособие для вузов. М.: Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2003.
23. Проведение научных экспериментов в наноинженерии / А.А. Адамова, В.М. Башков, А.И. Власов, А.А. Жуков, Д.В. Козлов, Е.В. Кульгашев, Ю.М. Миронов, Е.В. Резчикова, В.А. Соловьев, В.А. Шахнов, В.М. Школьников. М.: Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2015.
24. Свистова Т.В. Микроэлектроника: учеб. пособие. Воронеж, Воронежский гос. технический ун-т, 2011.
25. Ситников А.В., Ситников И.А. Прикладная электроника: учебник. М.: Инфра-М, 2018.
26. Старосельский В.И. Физика полупроводниковых приборов микроэлектроники: учеб. пособие. М.: Юрайт, 2011
27. Степаненко И.П. Основы микроэлектроники. М.: Лаборатория базовых знаний, 2004.
28. Столяров А.А. Физические основы микроэлектроники. М.: Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2006.
29. Троян П.Е. Микроэлектроника: учеб. пособие. Томск: ТУСУР, 2007.
30. Щука А.А., Сигов А.С. Электроника. В 4 ч. Ч. 2. Микроэлектроника: учебник для академического бакалавриата / А.С. Сигов, отв. ред. 2-е изд., испр. и доп. М.: Изд-во Юрайт, 2019.
31. Acín A. et al. The quantum technologies roadmap: A European community view // New J. Phys., 2018. Vol. 20. No. 8.
32. Arute F. et al. Quantum supremacy using a programmable superconducting processor // Nature, 2019. Vol. 574. No. 7779. Pp. 505–510.
33. Bernien H. et al. Probing many-body dynamics on a 51-atom quantum simulator // Nature. 2017. Т. 551. No. 7682. Pp. 579–584
34. Divincenzo D.P. Implementation of Quantum Computation. 2000. Pp. 1–9.
35. Fedorov G. P. et al. Photon transport in a Bose-Hubbard chain of super-conducting artificial atoms // Physical Review Letters. 2021. Vol. 126. No. 18. Pp. 180503
36. Fu X., Lao L., Bertels K., Almudever C.G. A control microarchitecture for fault-tolerant quantum computing. 2019. Vol. 70. Pp. 21–30.
37. Gimeno-Segovia M., Shadbolt P., Browne D.E., Rudolph T. From Three-Photon Greenberger-Horne-Zeilinger States to Ballistic Universal Quantum Computation // Phys. Rev. Lett., 2015. Vol. 115. No. 2. Pp. 1–5.
38. Glattli D.C., Roulleau P.S. Levitons for electron quantum optics // Phys. Status Solidi Basic Res., 2017. Vol. 254. No. 3.
39. Göppl M. et al. Coplanar waveguide resonators for circuit quantum electrodynamics // J. Appl. Phys., 2008. Vol. 104. No. 11.
40. Groves T.R. Efficiency of electron-beam proximity effect correction // J. Vac. Sci. Technol. B Microelectron. Nanom. Struct., 1993. Vol. 11. No. 6. Pp. 2746.
41. Hendrickx N.W., Franke D.P., Sammak A., Scappucci G., Veldhorst M. Fast two-qubit logic with holes in germanium // Nature, 2020. Vol. 577. No. 7791. Pp. 487–491
42. Hensen B. et al. A silicon quantum-dot-coupled nuclear spin qubit // Nat. Nanotechnol., 2020. Vol. 15. No. 1. Pp. 13–17.
43. Humble T.S., Thapliyal H., Muñoz-Coreas E., Mohiyaddin F.A., Bennink R.S. Quantum Computing Circuits and Devices // IEEE Des. Test, 2019. Vol. 36. No. 3. Pp. 69–94.
44. Lawrie W.I.L. et al. Quantum dot arrays in silicon and germanium // Appl. Phys. Lett., 2020. Vol. 116. No. 8.
45. Lucero E. et al. High-Fidelity Gates in a Single Josephson Qubit. vol. 247001, 2008. No. June. Pp. 1–4.
46. Mazhorin G.S. et al. Cavity-QED of a quantum metamaterial with tunable disorder // Phys. Rev. A 105. 033519. 2022. Pp. 1–12
47. Moskalenko I.N., Simakov I.A., Abramov N.N. et al. High fidelity two-qubit gates on fluxoniums using a tunable coupler // Quantum Inf 8, 130. 2022. https://doi.org/10.1038/s41534-022-00644-x
48. Murali P., Debroy D.M., Brown K.R., Martonosi M. Architecting Noisy Intermediate-Scale Trapped Ion Quantum Computers // Proc. - Int. Symp. Comput. Archit., 2020. Vol. May. Pp. 529–542.
49. Nakamura Y., Pashkin Y.A., Tsai J.S. Coherent control of macroscopic quantum states in a single-Cooper-pair box // Nature, 1999. Vol. 398. No. 6730. Pp. 786–788.
50. Niels A. et al. Understanding Quantum Technologies Fourth edition. No. September, 2021.
51. Orús R., Mugel S., Lizaso E. Quantum computing for finance: Overview and prospects // Rev. Phys., 2019. Vol. 4. No. February.
52. Perdomo-Ortiz A., Benedetti M., Realpe-Gómez J., Biswas R. Opportunities and challenges for quantum-assisted machine learning in near-term quantum computers // Quantum Sci. Technol., 2018. Vol. 3. No. 3.
53. Pino J.M. et al. Demonstration of the trapped-ion quantum CCD computer architecture // Nature, 2021. Vol. 592. No. 7853. Pp. 209–213
54. Quantum Computing opens new front in Cloud! – AI4WIFI.URL:.https: //ai4wifi.com/quantum-computing-opens-new-front-in-cloud / (дата обращения 27.11.2022)
55. Rotta D., Sebastiano F., Charbon E., Prati E. Quantum information density scaling and qubit operation time constraints of CMOS silicon-based quantum computer architectures // npj Quantum Inf., 2017. Vol. 3. No. 1. Pp. 1–13.
56. SenZhong H. et al. Quantum computational advantage using photons // Science, 2020. Vol. 370. No. 6523. Pp. 1460–1463.
57. Shor P.W. Polynomial-time algorithms for prime factorization and discrete logarithms on a quantum computer // SIAM J. Comput., 1997. Vol. 26. No. 5. Pp. 1484–1509.
58. Strukov D.B., Snider G.S., Stewart D.R., Williams R.S. The missing memristor found // Nature Letters, 2008. Vol. 453. Pp. 80–83.
59. Vandersypen L.M.K., Chuang I.L. NMR techniques for quantum control and computation 1069 // Rev. Mod. Phys., 2005. Vol. 76. No. October 2004. Pp. 1037–1069.
60. Veldhorst M., Eenink H.G.J., Yang C.H., Dzurak A.S. Silicon CMOS architecture for a spin-based quantum computer // Nat. Commun., 2017. Vol. 8. No. 1.
61. Wang J., Sciarrino F., Laing A., Thompson M.G. Integrated photonic quantum technologies // Nat. Photonics, 2020. Vol. 14. No. 5. Pp. 273–284
62. Warring U., Hakelberg F., Kiefer P., Wittemer M., Schaetz T. Trapped Ion Architecture for MultiDimensional Quantum Simulations // Adv. Quantum Technol., 2020. Vol. 3. No. 11. Pp. 1900137.
63. Wright K. et al. Benchmarking an 11-qubit quantum computer // Nat. Commun., 2019. Vol. 10. No. 1. Pp. 1–6.
64. Zhalnin V.P., Shakhnov V.A., Vlasov A.I. Methods for improvement of the consistency and durability of the inorganic memristor structures // International Journal of Nanotechnology. 2019. Vol. 16. No. 1–3. Pp. 187–195.
65. Zhalnin V.P., Vlasov A.I., Rasuk A.A., Kosyanov O.V. Composite nanomaterials for implementation of promising memristive structures // Key Engineering Materials. 2022. Vol. 910 KEM. Pp. 703–712
66. Zhalnin V.P., Vlasov A.I., Gudoshnikov I.V., Kadyr A.T., Shakhnov V.A. Market for memristors and data mining memory structures for promising smart systems // Entrepreneurship and Sustainability Issues. 2020. Vol. 8. No. 2. Pp. 98–115.
67. Zhang X., Li H.O., Cao G., Xiao M., Guo G.C., Guo G.P. Semiconductor quantum computation // Natl. Sci. Rev., 2019. Vol. 6. No. 1. Pp. 32–54.