Высоковакуумные технологические процессы в приборостроении

Библиотека «Приборостроение». Том 2

Учебное пособие по дисциплине «Высоковакуумные технологические процессы в приборостроении» содержит нормативную базу дисциплины, рекомендации по организации и проведению лекций, практических занятий, семинаров, лабораторных работ и деловых игр, перечень учебных видео- и аудиоматериалов, слайдов, типовых плакатов и другие дидактические материалы для работы профессорско-преподавательского состава и студентов по данной дисциплине.
Соответствует стандартам WorldSkills по компетенции «Производство и инженерные технологии», а также содержанию и уровню подготовки студентов по направлениям «Информатика и вычислительная техника» и «Приборостроение». Может представлять интерес для преподавателей, студентов, а также специалистов, занимающихся вопросами приборостроения и созданием цифровых систем.
Материалы учебного пособия имеют свободный доступ — их можно читать, загружать, копировать, распространять, печатать и ссылаться на их полные или частичные тексты с указанием авторства без каких-либо ограничений. Тип лицензии CC: Attribution 4.0 International (CC BY 4.0).

Список литературы

1. Михайлов В.П. Физические процессы в вакууме и полупроводниковых структурах и их использование в электронных приборах: учеб. пособие. М.: Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2022.
2. Иванов В.И. Вакуумная техника: учебное пособие. СПб.: НИУ ИТМО, 2016. [Электронный ресурс]. Лань: электронно-библиотечная система. URL: https://e.lanbook.com/book/91440 (дата обращения: 30.10.2022).
3. Вакуумная техника: справочник / под ред. К.Е. Демихова, Ю.В. Панфилова. М.: Машиностроение, 2009.
4. Деулин Е.А., Михайлов В.П., Базиненков А.М. Расчет вакуумных систем технологического оборудования: учеб.-метод. пособие. М.: Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2022.
5. Базиненков А.М., Каменихин А.Т. Технические средства получения и измерения давления вакуумной технологической среды: учеб.-метод. пособие. 2-е изд., испр. М.: Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2020.
6. Панфилов Ю.В. Формирование функциональных слоев: учеб. пособие. М.: Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2020.
7. Хоффман Д., Сингх Б., Томас Дж., ред. Справочник по вакуумной технике и технологиям / пер. с англ. под ред. В.А. Романенко, С.Б. Нестерова. М.: Техносфера, 2011.
8. Физические основы микро- и нанотехнологий / Бычков С.П., Михайлов В.П., Панфилов Ю.В., Цветков Ю.Б. М.: Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2009.
9. Машиностроение: энциклопедия: в 40 т. Разд. III. Т. III-8. Технологии оборудования и системы управления в электронном машиностроении. М.: Машиностроение, 2000