Технологические процессы изготовления электронной компонентной базы приборостроения

Библиотека «Приборостроение». Том 1

Учебное пособие по дисциплине «Технологические процессы изготовления электронной компонентной базы приборостроения» содержит нормативную базу дисциплины, рекомендации по организации и проведению лекций, практических занятий, лабораторных работ, перечень слайдов и другие дидактические материалы для работы профессорско-преподавательского состава и студентов по данной дисциплине. Соответствует стандартам WorldSkills по компетенции «Производство и инженерные технологии», а также содержанию и уровню подготовки студентов по укрупненным группам специальностей и направлений «Информатика и вычислительная техника», «Электроника, фотоника, приборостроение и связь». Может представлять интерес для преподавателей, студентов, а также специалистов, занимающихся вопросами приборостроения и созданием цифровых систем. Электронная версия учебного пособия имеет свободный доступ — ее можно читать, загружать, копировать, распространять, печатать и ссылаться на полные или частичные тексты с указанием авторства без каких-либо ограничений. Тип лицензии CC: Attribution 4.0 International (CC BY 4.0).

Список литературы

1. Андреев В.В., Столяров А.А. Физические основы наноинженерии: учеб. пособие для вузов / под ред. В.А. Шахнова. М.: Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2011. 223 с. (Библиотека «Наноинженерия»: в 17 кн.; кн. 16).
2. Варламов П.И., Елсуков К.А., Макарчук В.В. Технологические процессы в наноинженерии: учеб. пособие для вузов / под ред. В.А. Шахнова. М.: Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2011. 175 с. (Библиотека «Наноинженерия»: в 17 кн.; кн. 2).
3. Королёв М.А., Крупкина Т.Ю., Ревелева М.А. Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем: учеб. пособие: в 2 ч. / под ред. Ю.А. Чаплыгина. 4-е изд. М.: Лаборатория знаний, 2020. 400 с.
4. Красников Г.Я. Конструктивно-технологические особенности субмикронных МОП-транзисторов. М.: Техносфера, 2011. 800 с.
5. Красников Г.Я., Горнев Е.С., Матюшкин И.В. Общая теория технологий и микроэлектроника. М.: Техносфера, 2020. 434 с.
6. Макарчук В.В. Проектирование топологии биполярного планарно- эпитаксиального транзистора: метод. указания к курсовому проектированию по курсу «Технологические процессы микроэлектроники». М.: Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2005. 20 с.
7. Макарчук В.В., Родионов И.А. Проектирование электронной компонент- ной базы наносистем: учеб. пособие для вузов / под ред. В.А. Шахнова. М.: Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2011. 156 с. (Библиотека «Наноинженерия»: в 17 кн.; кн. 5).
8. Макарчук В.В., Родионов И.А., Цветков Ю.Б. Методы литографии в нано- инженерии: учеб. пособие для вузов / под ред. В.А. Шахнова. М.: Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2011. 175 с. (Библиотека «Наноинженерия»: в 17 кн.; кн. 9).
9. Моро У. Микролитография: в 2 ч.; пер. с англ. М.: Мир, 1990. 606 с.; 634 с.
10. Мурога С. Системное проектирование сверхбольших интегральных схем: в 2 кн.; пер. с англ. М.: Мир, 1985. 288 с.; 291 с.
11. Панфилов Ю.В., Моисеев К.М., Михайлов В.П. Высоковакуумные технологические процессы в наноинженерии: учеб. пособие для вузов / под ред. В.А. Шахнова. М.: Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2011. 191 с. (Библиотека «Наноинженерия»: в 17 кн.; кн. 3).
12. Парфенов О.Д. Конструирование полупроводниковых интегральных схем: метод. указания к курсовому проектированию по курсу «Конструирование и технология микросхем». М.: МВТУ им. Н.Э. Баумана, 1984. 27 с.
13. Парфенов О.Д. Расчет и конструирование интегральных резисторов: метод. указания по курсовому проектированию по курсу «Микроминиатюризация электронно-вычислительных средств». М.: Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 1994. 27 с.
14. Парфенов О.Д. Расчет и конструирование интегральных транзисторов: метод. указания по курсовому проектированию. М.: Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 1997. 19 с.
15. Парфенов О.Д. Технология микросхем: учеб. пособие для вузов. М.: Высш. шк., 1986. 318 с.
16. Рабаи Ж.М., Чандракасан А., Николич Б. Цифровые интегральные схемы. Методология проектирования: пер. с англ. 2-е изд. М.: Вильямс, 2007. 912 с.
17. Технология СБИС: в 2 кн. Кн. 1 / К. Пирс, А. Адамс, Дж. Цай, Т. Сейдел, Д. Макгиллис; пер. с англ. под ред. С. Зи. М.: Мир, 1986. 404 с.
18. Уэйкерли Дж.Ф. Проектирование цифровых устройств: в 2 т. М.: Постмаркет, 2002. 544 с.
19. Хоровиц П., Хилл У. Искусство схемотехники: в 3 т.; пер. с англ. 4-е изд., перераб. и доп. М.: Мир, 1993. 372 с.; 368 с.; 413 с.